Сканирующий микроскоп FEI Verios

Тип микроскопа

Сканирующий

Работаем уже полгода на этом оборудовании, все отлично

Смотреть отзывы

Написать в Whatsapp

Уточнить цену

НАШЛИ ДЕШЕВЛЕ?
вернем разницу в цене

ВЗЯТЬ В АРЕНДУ
на сутки, неделю или месяц

Поверка и настройка
входит в стоимость

Доставка
от 3-х дней

В наличии
в Санкт-Петербург

Выбор города

Описание
Особенности
Характеристики
Доставка
Отзывы
Инструкции

Описание

Сканирующий микроскоп FEI Verios

Сканирующий электронный микроскоп Verios G2 — второе поколение сканирующих электронных микроскопов ультра-сверхвысокого разрешения флагманской линейки компании Thermo Fisher Scientific. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Прибор обладает непревзойденными характеристиками при работе на низких ускоряющих напряжениях и с малоэнергетичными электронами (до 20 эВ), благодаря которым обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность прибора достигает 0.6 нм! Микроскоп Verios — лучшее аналитическое решение при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано-масштабной топологией, что превращает его в комплексное решение для фундаментальных и прикладных исследований, сопровождения технологических процессов, создания новых материалов и устройств.

Особенности

FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
Электронная пушка Elstar, в том числе:

Термополевой эмиттер Шоттки
Возможность замены без прерывания работы
Технология UC (монохроматор)

Двойная объективная линза с углом 60° с защитой полюсного наконечника
Нагреваемые апертуры объектива
Электростатическое сканирование
Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
Интегрированная функция быстрого гашения пучка*

Характеристики

Тип микроскопа Сканирующий
Тип образцов Металлы, Микроэлектроника, Минералы, Непроводящие
Разрешение от 0.6
Разрешение до 0.7
Область сканирования от 0
Область сканирования до 100
Характеристики электронной пушки

Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии

0,6 нм при 30кВ (STEM)
0,6 нм при 15 кВ
0,6 нм при 2 кВ
1,0 нм при 500 В (ICD **)
1,2 нм при 200 В (ICD **)

Максимальная ширина горизонтального поля зрения
Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм
Диапазон контактной энергии: От 20 В до 30 кВ
Ток зонда
Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA

Предметный столик

5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом
Перемещение по осям X, Y = 100 мм
Перемещение по оси Z ≥ 20 мм
T (наклон) = от –10° до +60°
R (вращение) = n x 360° ход
Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм
Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 %
Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52°
Вращение и наклон под управлением ПК

Детекторы

Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE)
Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE)
Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD)
Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD)
ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны
Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ *
Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) **
Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) *
Интегрированное измерение тока пучка